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第1621章 从40nm到27nm的跨越(第2/2 页)

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“193nm波长下,1800物镜组的等效数值孔径(NA)实测最大值为1.8009,最小值为1.7996,NA一致性达到±0.0013,该数值远优于我们设计指标要求的±

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